ASML XT 1700FI是一种用于半导体器件加工的晶圆步进器.它是由Applied Materials制造的,是业界生产高级设备的领先工具。该设备旨在提供最高的光刻和覆盖精度。ASML XT1700FI能够处理2-8英寸的晶圆尺寸,标称分辨率为438nm.该系统提供高质量的成像以及出色的聚焦控制深度。该单元采用全场光刻扫描，可以轻松、精确地曝光整个晶片。晶圆步进器结合了独特的扫描仪激光机器，能够实现更高的曝光速度。它还配备了一对4.5英寸激光扫描工具镜头，允许多种曝光模式。该资产的电子束无掩蔽光刻曝光子系统有助于降低掩蔽和检查要求。电子束无掩蔽光刻也能降低光刻损坏的风险。XT:1700FI与业界最先进的软件完全兼容,包括用于对齐和覆盖的ASML Digital Micro Imaging Software。它也与最新版本的美光追踪器兼容。该模型采用先进的工业PC平台构建,可提供高水平的可靠性和稳定性。XT 1700 FI具有5轴方向，以确保对整个晶圆的精确跟踪和扫描。该设备还包括一个可编程照明器和各种各样的附件，如柱头、扩散器和暗场光学器件。XT1700FI还具有高性能的微聚焦系统,可确保晶圆在整个表面正确暴露。用于控制曝光分辨率的微透镜也是该单元的一部分。机器的高级控制软件有助于减少操作员错误,同时提高生产率和吞吐量。总体而言,ASML XT:1700FI是业界领先的晶圆步进器,能够产生出色的成像效果,同时提供可靠稳定的性能。此工具非常适合高级设备处理,旨在满足最高的生产要求。