ASML Twinscan 1700i是半导体行业领先的晶圆步进器之一。它旨在提供高效、精确的光刻扫描，在硅片等基板上创建详细的电路模式和结构。Twinscan 1700i由五轴级、光刻透镜和投影设备组成。五轴级配备了直线电机，提供超精确快速的定位能力，允许更快的循环时间。镜头是高精度、高色散的聚焦系统，容量高达1.2倍放大倍数。投影单元由光源、光学元件和投影透镜组成，将全芯片布局设计一起投射到基板上。ASML Twinscan 1700i还配备了先进的控制机器。此工具具有内置功能,使其适合广泛的应用,包括单层和多层设计。这包括减少像素缺陷、提高对准精度和无缝边缘清晰度的优化技术。Twinscan 1700i还具有高速计算模块和先进的跟踪和迭加校正能力，使资产在保持高图像精度的同时减少周期时间。ASML Twinscan 1700i的设计目的是在剂量和聚焦方面提供最大的灵活性。该模型可以轻松配置以满足特定于客户的要求,而且它还与各种基板兼容。Twinscan 1700i的正常运行时间高、服务要求低、可靠性优异。它还为原型和生产线提供全面的光刻解决方桉，可用于各种微电子应用。