CANON FPA 2000 i1是一种晶圆步进器，旨在提供精密的光刻成像，具有高通量和卓越的精确度。它具有两种激光器，一种接口周期性对准设备和先进的照明器/探测器技术。先进的散焦监控系统（DMS）也有助于确保稳定的曝光。该装置采用双源光学拾取头技术，具有先进的照明-探测器组合，能够提供高分辨率成像。DMS有助于为单层和多层抗暴露提供均匀的重复暴露剂量和模式放置。它向光学单元提供实时反馈，以进行散焦和舞台失真校正。使用佳能高精度运动控制机保持5轴全运动。CANON FPA2000-I1提供了20纳米的高分辨率成像，这对于当前许多微加工工艺都是必需的。该工具设计有两个激光器，结合使用以最大限度地提高曝光精度。它还具有先进的散焦监视器资产（DMS）,它能够适应当前的应用,扫描每个字段并自动补偿阶段像差造成的模式放置偏差。该模型具有内置智能照明器，能够以可靠的重复性处理最具挑战性的抵抗暴露要求。此软件的功能包括扫描线优化、掩码优化、字段索引和模式分割。FPA-2000I1也是自动化的,提供了一整套操作模式,如自动校准、自我诊断和故障处理,以及用于执行高精度聚焦和曝光控制技术的机载Z深度优化。总体而言，CANON FPA 2000 I1是一种先进的晶圆步进器，能够提供精密的光刻成像，具有极好的精度和可靠性。该系统具有两个激光器、一个接口周期性对准设备和一个先进的DMS,能够提供20 nm的高分辨率成像和可定制的自动化操作模式。内置照明设备和各种令人印象深刻的功能，这个单元是一个理想的选择，把你的微加工工艺到一个新的水平。