ASML AT-850D是一种用于光学光刻的4轴精密透镜对准设备。它是一个全自动的深紫外线（DUV）157 nm浸入式光刻系统，设计用于生产集成电路（IC）产品。该单元旨在满足领先半导体行业在提供最佳工艺控制和拥有成本方面的需求。这种步进器具有出色的吞吐量和性能,是生产石版画家的宝贵功能。ASML AT850D具有许多提供最佳性能的功能。它配备了一个较大的工作区，使得晶圆对准和基板移动容易。它配备了提供高级模式识别和平版印刷操作的高级软件套件。此外,步进重复功能允许快速复制图案,从而大大加快了光刻过程。AT 850D有一个独特的四轴机器，它是用一个精确的移动表与XY CCD计量工具耦合而成的。该XY CCD计量资产用于迭加测量和缺陷检测.步进器具有高精度的镜头导航和对准，可以在不同的图样场之间精确移动坐标，而无需重新对准或重新燃烧晶圆。这一特性有助于提高晶圆均匀性，这在半导体制造过程中至关重要。AT-850D具有集成的真空负载锁定模型,该模型提供晶圆传输机器人和步进器之间的自动化、安全的接口,并完全集成到ASML光刻工作流程中。它还具有高压像差校正（HIPAC）设备，这有助于减少光学失真，即使在小特性上也能实现高精度图样。ASML AT 850D还提供了多种多样的过程适应和控制选项,这要归功于它的软件程序套件。例如，它具有先进的平版印刷模拟功能，因此工艺工程师可以模拟曝光以确定最佳设置。它还允许步进器和关联的流程工具之间的实时数据共享。总体而言,AT 850 D是一种可靠且高性能的晶圆步进器,可实现用于IC制造的顶级光刻。它的许多特点使光刻能够快速、安全、准确地进行生产和管理。由于这些原因，以及更多原因，ASML AT 850 D是半导体工业中广受信任的光刻机器。