ASML AT 1200B是半导体制造中用于光刻的最先进的晶圆步进器。它提供了高度的精确度和可重复性，这对于在现代集成电路上彷制纳米级结构至关重要。晶圆步进器由几个不同的部分组成。它的光学模块包含几种不同的透镜，包括标线物镜，将成像光聚焦在光刻涂层晶片上。标线被固定在标线架中，并以精确的图样扫描在晶圆上。晶片级用于在成像光学器件下平移和旋转晶片。步进器还有一个照明系统，带有一个可移动的氙灯，允许精确调整用于曝光光刻胶的紫外线能量。还包括一个照相机系统，用于自动对准和监测制图过程。步进器由计算机化控制器模块操作，该模块包括一个用户友好的图形界面，用于设置和管理步进器的工艺参数。这允许在适应新结构或工艺设置时具有高精度、可重复性和灵活性。步进器还包括多种内置的安全功能,以确保其正常运行并防止对关键组件或曝光造成任何损坏。除了其准确性和可重复性之外,步进器的模块化设计还可以方便地安装和维护,以及分开的电气和机械部件,以更快、更有效地进行维修。步进器具有先进的成像算法技术和快速可靠的晶片图样能力，非常适合生产设置。总体而言，ASML AT-1200B是一种高度精确和精密的晶圆步进器，旨在实现最高水平的光刻性能。它能够产生极精确的纳米级图样，为现代IC生产过程提供高水平的速度、精度和可重复性。