ASML AT-850C是一种高度精确和创新的晶圆步进器,旨在快速、精确地制造和检查具有高生产率和产量的现代设备。它是一种先进的光刻设备，配有准分子激光、步进/对准器和扫描仪。该系统高度可靠,能够处理300毫米晶圆。它配置了多个探测器、传感器和对准设备,以确保最终结果具有高质量。ASML AT850C具有先进的准分子激光束传送装置.准分子激光器能够达到高精度，提供高度控制，集中光源是完美的图案精细特征。该激光器具有有限衍射的激光性能和用于精确、可重复成像的高端激光控制器。AT:850C的电动光学和机械级确保在整个晶片表面上最精确的对准和聚焦。各种透镜和光学滤镜都可用于适应各种生产过程。该机器包括一个先进的模式识别和比较工具，可以快速识别错误，提高吞吐量和最小化错误。对于质量最高的产品,该工具还配备了扫描仪。扫描仪使用先进的光学和电子设备，以高度的分辨率和准确度扫描晶片。它能够精确地测量和记录特征的大小、距离、角度以及更高的精度。ASML AT:850C易于使用,具有多种用户友好的功能,使操作更加平稳高效。它具有强大的计算机软件，允许用户自定义资产并根据自己的特定需求进行优化。随附的校准软件产生高精度的结果，精确度更高。除了提供卓越的性能外,AT 850C安全运行且维护良好。该模型包括安全联锁和辐射屏蔽，以保护操作员和环境免受有害辐射。设备维护良好,有预防性维护计划,可确保所有设备正常运行,并能快速发现和解决任何问题。