ASML AT-1150C是一种晶圆步进器，一种用于半导体操作的机器。它设计用于进行光刻，一种用于在半导体器件上产生图样的摄影。ASML AT 1150C是一种全自动设备,设计用于处理直径为2英寸和6英寸的晶圆,处理吞吐量高达每小时150个晶圆。它具有FPD-LBA聚焦对准子系统和可重复性定位系统。AT:1150C配有步进电机和标准机器视觉算法，用于检测晶圆对齐标记和精确定位晶圆进行测序。该机还提供自动聚焦控制，以确保聚焦光掩模与晶圆对齐，以及自动的标线交换功能。AT-1150 C旨在降低曝光成本和处理时间,同时提供卓越的图像质量。它具有高速光学单元和计算机控制的标线前进机，这两者都保证了运行多次曝光时的准确性。它还有一个自动卡带工具，允许最多50个晶圆在一次同步操作中加载到其中。该机还包括一个集成的晶圆检测资产，用于实时监控，具有可变扫描大小和分辨率。此外,该机器符合ASML质量和可靠性计划的要求,从而确保了卓越的性能。总之，AT 1150C是一种最先进的晶圆步进器，旨在提供卓越的图像质量、高吞吐量和低成本的操作。它与每个盒式磁带最多50个晶片兼容，包括用于自动对准和焦点控制的高级功能，以及集成晶片检查。吞吐量高达每小时150个晶圆,并符合ASML可靠性计划,可确保最佳质量和性能。