CANON FPA 2000 i1晶圆步进器是一种全自动、高精度的光刻工具，设计用于处理各种与光刻相关的任务。它以其高度先进的显微技术和照片对准技术对光刻工艺提供了前所未有的控制。微波的高分辨率允许晶片的精确图样，而光对准技术保证了每一个暴露层的精确可靠对准。CANON FPA2000-I1配备了4英寸晶圆处理机器人，可装卸晶圆，最大尺寸200毫米。该机器人具有极好的可重复性和准确性，能够实现高容量和高质量的光刻处理。设备的高度先进、非接触式聚焦系统确保晶片的精确图样化，其独特的自校准自动曝光单元以卓越的精度提供晶片的一致曝光。该机器还包括一个高速曝光工具，具有高功率的ArF激光源和各种各样的镜头和激光电源设置。这样可以确保资产能够满足各种阵列大小的各种应用程序需求。此外，该模型的晶片板为曝光过程提供了良好的均匀性和稳定性。FPA-2000I1旨在利用先进的机械、电子和光学技术提供有效和可靠的性能。它的紧凑布局允许轻松安装,而其最大450 Hz输出频率可提供高吞吐量和高生产率。该设备还具有多种维护功能和高级诊断,以确保快速高效的故障排除和维护。总之，FPA-2000 I1是一种非常先进和可靠的晶圆步进器，旨在提供卓越的光刻性能。其先进的技术提供了卓越的晶片图样精度和一致的曝光，同时其高吞吐量和易于安装确保了有效和可靠的性能。