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ASML TWINSCAN AT 1150C 扫描投影光刻机(Scanner)

库存状态:现货

ASML TWINSCAN AT 1150C是一种用于高速和高精度光刻的晶圆步进器。它具有先进的光学设备和通用的自动化平台,使系统能够处理最先进的晶圆类型。ASML TWINSCAN AT:1150C利用具有像素级分辨率的高分辨率、高动态范围成像单元,实现高吞吐量和高产率。它还配备了自动光学对准机,允许光学的快速和容易对准对准。此外,该工具还包括温度范围从真空到90°C的真空室和最大加速度为1.25 m/s2的晶圆级,即使在高速制图时也提供稳定的性能。TWINSCAN AT 1150C还附带各种软件包,包括广泛的算法和功能库。资产配备了可配置为优化曝光时间和图像吞吐量的自动曝光模型。此外,随附的SDK还提供了用于集成自定义解决方桉的API集合,使设备适合定制应用程序。TWINSCAN AT:1150C的设计是为了满足即使是最苛刻的光刻应用的需要。它具有超高分辨率、高速成像和高精度对齐功能,为石版画家提供了复杂工艺所必需的灵活性和精确度。此外,凭借其直观的软件套件和对众多自动化选项的支持,系统能够满足各种光刻应用程序的需求。

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