C SUN Stepper是一种先进的晶圆Stepper，用于使用光刻成型集成电路。C SUN Stepper被设计为产生精确、高分辨率的集成电路设计对光的曝光。它由机械、成像和照明组件组成,允许精确的特征大小和可重复的对齐方式。机械上，Stepper有一个四象限对准设备，由一个装有标线（或掩模）的标线级和一个装有晶片或基板的晶片级组成。该系统支持半自动化和自动化,可容纳8英寸大小的晶片。此外,C SUN Stepper支持字段的步进重复对齐和缝合。Stepper提供了一个成像单元，使用高孔径光学机器与高精度电动机结合，用于图像移位和放大操作。它具有从0.15到0.55的可变数值光圈（NA），最大分辨率为0.4微米，以及支持0.25微米图像的高数值光圈（HNA）镜头。该工具还包括可调节的标线聚焦机构。C SUN Stepper还具有可变照明资产,可支持多区域聚焦控制和具有一致聚焦深度的大场均匀性。它使用可变光圈和可变衰减快门来微调照明轮廓，以获得最佳曝光性能。Stepper还提供了自动对齐功能,即使在长时间的生产运行中也能确保高水平的可重复性。总体而言,C SUN Stepper专为精确可靠地设计集成电路而设计。它结合了成像、照明和对准元件，是制造生产级集成电路的可靠选择。