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RIBER 304 外延炉

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分子束外延(MBE)是一种多用途、功能强大的晶体结构明确的材料外延薄膜制造方法。RIBER 304是一种最先进的MBE设备,其设计满足了研究和工业应用的最高要求。该系统具有优化的均匀性和均匀的层长,质量最高.304由发电机室、样品室、百叶窗单元和真空机等几个部件组成。发电机室由一系列与涡轮泵相连的积液池组成,提供了必要的真空环境。电池是电加热的,有两个错别字的烤箱,一个用于生长III-V化合物,另一个用于沉积贵金属。样品室配有八袋样品架、可伸缩镜和气体注入工具。快门资产是模型的主要控制单元,允许对MBE沉积所需的每种材料进行精确剂量。它包括两种材料的独立致动装置,还提供有关烤箱加热状态的视觉反馈。此外,它的多功能控制软件提供了广泛的选项,以微调快门设备。真空系统由离子源真空泵、旋转泵阵列、离子泵控制器和电离计组成。这种健壮高效的真空单元保证了极低的工艺压力(<5 x 10^-10 Torr)和出色的背景真空(<1 x 10^-11 Torr)。RIBER 304 MBE机还设有远程计算机,用于监视和控制从快门资产到真空模型的所有刀具组件。这台计算机是研究人员的一个关键组件,它提供了对一系列专门工具的访问,例如对过程压力、增长率和其他操作参数的实时预览。总之,304是一款集高性能、可靠性和灵活性于一体的先进MBE设备。它可以很好的控制和精确的均匀性来沉积所需材料的外延薄膜,这在许多研究和工业应用中都是必不可少的。

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