VARIAN/VEECO GEN II是一种分子束外延（MBE）设备，可用于生长包括III-V多型、氧化物、氮化物、石墨烯和稀土元素在内的多种材料。该系统由两个主要组成部分组成，包括一个两室MBE单元以及对工具和仪器的全面补充。两室MBE机由蒸发室和生长室组成。蒸发室有六个Knudsen细胞源，允许材料类型的变化。生长室是一个高度可定制的浴管为基础的腔室，旨在最大限度地实现外延生长。该工具配备了大量的子系统，所有这些子系统都旨在优化材料质量，包括温度控制、基板加热和六轴原位监测。控制资产允许自动化的增长过程以及远程控制。此外,该模型还配备了一系列可选参数,包括源几何形状的定制、狭缝刀片和栅格、样品吞吐量和腔室压力控制,以及预对准和后对准功能,以提高材料质量和准确性。最后，设备配备了多种不同的支撑系统，包括脱气集群、远程电子枪、激光系统以及允许用户绘制出电位的控制器组合，以进一步优化材料质量和增长速度。总而言之，VEECO GEN II是一个强大的单元，能够种植各种材料。其众多的辅助系统和参数，以及自动控制，允许对材料生长进行精确操作，以产生一致的高质量材料，然后可用于各种应用。