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VEECO Gen II 外延炉

库存状态:现货

分子束外延技术是一种精密控制层厚、均匀性和组成的薄膜材料的先进技术。VARIAN/VEECO GEN II是一种最先进的分子束外延设备,提供了增强的性能和多功能性。VEECO GEN II旨在实现比传统和现有分子束外延系统更高的增长率,同时提供对层厚度、均匀性和组成的卓越控制。VARIAN GEN II采用三重金属三源(TMTS)配置,由三个独立的可蒸发材料来源组成。借助TMTS、超低掺杂分数、高面积材料均匀性和可调增长率,客户可以定制其设备设计以获得最佳性能。此外,TMTS的替代源臂允许添加更多的反应物材料来源,以提高组成灵活性和多层增长。GEN II还配备了实时原位监控系统和计算机控制的快门组件,提供了对胶片生长的更多控制。实时单元监控薄膜厚度、均匀性和掺杂水平,允许对材料沉积过程进行优越的控制。快门组件可用于遮蔽选定的沉积区域,提供对杂质浓度、层均匀性和组成的更多控制。除了提高性能外,VARIAN/VEECO GEN II还提供卓越的环境稳定性和清洁度。该机配备了超低除气超高真空(UHV)组件,减少了污染物沉降在晶圆上的机会。此外,VEECO GEN II还具有气束叶轮,有助于消除不良尘埃颗粒的形成,从而螺旋进入腔室并污染膜的生长。总体而言,VARIAN GEN II是一种先进的分子束外延工具,可提供卓越的性能、多功能性和环境稳定性。GEN II通过提供卓越的实时监控功能、可定制的增长率和组合物以及超低除气组件,增强了对沉积过程的控制,创建了结构精确的薄膜材料,具有均匀性和可重复性。

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