DNS/DAINIPPON MA-4200是一种全场自动掩码对齐器。这种最先进的设备由于其先进的功能和准确性，是满足半导体行业生产和研究需求的完美解决方桉。DNS MA-4200具有先进的6英寸晶片定向级和7英寸视图,以提高精度。该设备采用步进电机驱动的X-Y级,最大对准精度± 0.25 μ m。此外,在0.1 μ m的最小增量下可以实现高精度对准。该装置的其他特点包括亚微米聚焦系统、可调焦点伺服以及自动定心侧滑功能。DAINIPPON MA-4200的高级功能允许方便、自动对齐许多不同的芯片设计,而无需手动协助。例如,支持多项目晶圆（MPW）功能并提高灵活性和生产率。此外,全自动的标线锁系统消除了手动对准,从而将掩码覆盖误差减少了60%。此外,自动掩码加载和对准过程可以以极高的速度快速准确地执行,每小时高达10,000晶圆。MA-4200具备额外的数字功能,可支持每秒高达276兆位的高速访问,并可连接到各种设备,包括用于自动监控或存档数据库存储的个人计算机。该系统还与SCSI、数字视频接口、局域网和以太网兼容,必要时允许远程操作。DNS/DAINIPPON MA-4200被证明是满足半导体行业需求的杰出工具。其先进的能力加上灵活性、提高的准确性和运行速度，使其成为生产和研究项目的完美解决方桉。