OAI 8008AIR-101142是一种用于半导体光刻工艺的掩模对齐器。它为现代芯片的光刻工艺提供了高精度和可重复的性能。掩模对准器具有多种自动化工具，包括自动曝光控制、石英校准和批量掩模加载。高分辨率光学设备允许精确的图像对准和焦点控制。还有一个集成的精密激光器，以更好的对准。该机先进的伺服系统以0.01 μ m的最小步长提供高精度。该单元还具有创新的标线卡盘、自动掩模优化，甚至是位置检测机，以保证可靠的重复性和准确性。此外,该软件还提供用户友好的功能、高效的流程数据管理以及不断扩展的操作方法库。通过这种直观的用户界面，可以快速设置必要的参数并开始光刻过程。8008AIR-101142遮罩对准器还提供了广泛的曝光源，包括紫外线光源、激光和电子束。该工具还配备了自动化和手动曝光控制。这允许用户选择其特定光刻工艺所需的精确曝光强度。该资产还提供了一个完全自动化的石英控制校准模型，以确保精确的校准有效性。这有助于最大限度地减少浪费和提高生产吞吐量。此外,该设备还配备了自动蒙版加载系统,可快速将蒙版装卸到蒙版卡盘上。总体而言,OAI 8008AIR-101142掩模对齐器是一种直观且功能丰富的平版印刷工艺工具。凭借其全面的自动化特性、高分辨率的光学器件以及精确的对准，它是任何光刻工艺的绝佳选择。