OAI 2000SM是OAI Corporation提供的高度精确、计算机控制的掩码对齐器。该设备是专为半导体器件制造而设计的,非常适合阵列制作过程,例如光学写入、蚀刻和开发最小尺寸为1 µm的器件。2000SM是一种基于双轴伺服电机的高分辨率系统，其X轴和Y轴的精度提高到± 1 µm。它还提供高吞吐量,周期时间仅为1.7毫秒。该单元可确保出色的覆盖精度,并具有最大5 µm的对准精度。它还可以处理厚达280mm厚的基板。OAI 2000SM具有高度灵活的机器体系结构,允许集成各种外围设备组件以满足客户的特定要求。该工具可与多种设备集成，如光学步进器、溅射系统、批量纺纱机、蚀刻系统、离子植入器和扩散炉。该资产采用刚性铝基板建造，可提供无与伦比的平整度和精确度。它还具有平板扫描功能，使扫描模式的快速设置和调整的工具。这样可以减少将掩码与基板对齐所需的时间,从而加快响应时间。2000SM是一种高度可靠的对齐器，符合为半导体制造制定的严格的安全性和可重复性标准。它在所有门和部件上都装有安全互锁，符合ESD（静电放电）标准。它还具有警报模型，可以设置为在发生任何紧急情况时向操作员发出警报，从而确保可靠的操作。OAI 2000SM掩模对准器是半导体器件高精度成型的理想解决方桉。该系统具有精确的对准精度、先进的设备架构以及可靠的安全和性能标准，非常适合半导体行业的苛刻要求。