NIKON Projection Aligner是一款用于微电子器件制造、光掩模生产、溷合电路细线等先进光刻应用的掩模对齐器。该设备精度高，对准可靠，操作高效。它利用先进的光学技术在广阔的视野中提供精确的对准,从而提高产量和提高产品质量。Projection Aligner具有由投影透镜和望远镜组成的双透镜光学系统。设备的高级对齐算法使用投影图像的对比度和对比度,以便在设备晶圆的区域上精确对齐,这些区域通常太小而无法手动对齐。通过利用具有同时两轴（X-Y）移动掩模的远心光学器件,该机器能够在比手动对准时间短得多的时间范围内准确可靠地对准≤ 200 um模式。NIKON Projection Aligner是一种3轴工具，具有快速扫描级设计，可以快速准确地将光掩模定位在投影方向上。快速扫描阶段还允许在基板的多个部位进行自动对准和曝光，从而使大规模生产成为可能。透镜-望远镜资产配备了沿Z轴对准的同步控制和自动对焦模型，以确保自由形式投影成像。此外，该设备还具有一个带有LED光源的外部摄像头和一个用于查看遮罩图桉或基板图桉的高分辨率显示屏。如果需要手动对齐,此功能允许手动调整。Projection Aligner还具有高度灵敏的调整操纵杆和直观的用户界面,允许以最小的培训要求快速轻松地操作。综上所述,NIKON Projection Aligner提供高精度、可靠的对准和高效的操作,非常适合高科技光刻应用。快速扫描阶段、直观的用户界面以及沿Z轴的同步控制,可以缩短时间范围并提高产量。此外,外部照相机和LED光源允许手动对准和查看基板和掩模图样,从而确保了光掩模的准确定位。