MIDAS MDA-60FA是由MIDAS开发的多光束激光掩模对准器。它用于生产半导体芯片和微电子器件，通过提供精确的定位、对准和快速操纵光掩模和基板。MDA-60FA有一个18英寸全圆、6轴计算机控制的运动控制。它具有多个扫描频率、激光功率和分辨率,可以调整以实现精确对准。MIDAS MDA-60FA利用具有集成MCAT线性同步和XY粗移动的高精度双级轴模块。X-Y-Z级定位精度为+/-1.0微米,可重复性精度为0.3微米,速度为1 mm/s,加速度为0.02 μ m/s。MDA-60FA体积小巧,占地面积855x855x1400mm,重量155kg。MIDAS MDA-60FA的激光源是脉冲185nm激光器，脉宽为20-100 ms，每脉冲能量高达175mJ。其最小安装可重复性为1µm，最小光束对准误差为0.25µm，聚焦深度为2-5µm。激光光斑尺寸可从5-100 μ m调节，最小精度为0.2 μ m。MDA-60FA具有全方位的软件功能,可实现可重复的对齐,以及快速的对齐设置时间。其软件支持多种光刻格式，提供自动对准和失真校正，并支持扩展棋盘校准，以实现更高精度的对准。集成的MCAT激光同步功能通过连续对准激光源和图像处理来确保超高速对准。总体而言,MIDAS MDA-60FA在半导体和MEMS应用的精确对准方面处于行业领先地位。其先进的运动控制、双级模块、激光源和综合软件功能相结合，为超精确对准和经济高效运行提供了最佳性能。