MELLES GRIOT 58-805是一款Mask Aligner，设计用于快速传送薄膜、铝箔蒙版晶片以及蒙版和晶片的非接触图像。这款Mask Aligner由MELLES GRIOT Corporation制造，基于他们的专利技术。该设备采用类似于显微镜的光学布局,以实现更精确的对准。58-805提供两种截然不同的曝光模式，以满足从MEMS和光电子学到材料研究的各种应用的精度和工艺要求。它具有长行程、一对一的成像曝光模式,用于配准精度降至0.2 μ m,允许低失真配准。全自动的可编程曝光模式可确保更高的曝光精度、更快的曝光时间以及一次运行最多16次曝光。此蒙版对齐器利用对齐设备和传感器来精确对齐晶片、基板支架和蒙版。晶片的连接是自动的，运行时间快。对准和聚焦机构是手动操作的,精度为0.2 μ m x/y和0.1 μ m z。此外，快速对准设备和专利自动去聚焦系统是MELLES GRIOT 58-805的特点。面罩对准器的图像和图样曝光单元包含一个水银短弧和一个氙气短弧灯照明机。光学组包含两个同时激活的两个灯，该工具有两个曝光参数，每个灯一个。两款灯的最大输入功率为175瓦，资产还具有手动和电动电动聚焦机构，设计用于0.15 μ米聚焦精度。58-805 Mask Aligner利用基于PLC的彩色触摸屏控制器和软件进行用户交互。曝光、对准、去聚焦和曝光后分析的处理参数都可以输入到控制器中。此外，为了最大限度地提高精度和加强工艺，在对准器上安装了一系列传感器。总体而言，MELLES GRIOT 58-805是一款功能强大、高效的掩模对齐器，能够快速准确地对准晶片和掩模，同时还提供低失真配准、自动可编程曝光模式和去聚焦系统等令人兴奋的功能。这种最先进的设备最常用于MEMS和光电子应用，尽管它也适用于各种其他应用。