KARL SUSS/MICROTEC MJB-21是一种高精度的掩模对齐器，常用于批量生产和研究级工艺中的光刻。MICROTEC MJB-21是一种3轴、计算机控制、高精度的曝光机，能够在各种基板上进行高度精确的微加工过程。它为用户提供了广泛的可编程运动控制、曝光照明、曝光水平、预定义的对准精度以及精确生产所需的其他参数。KARL SUSS MJB 21使用了175瓦的水银氙灯作为显微镜级照明的光源。这种灯既坚固又可靠,每次都能提供精确的曝光.这款灯还具有365 nm的波长，可以根据所需的曝光类型进行调节。此外，MJB 21还配备了获得专利的SMPR（亚微米定位分辨率）设备，可确保0.1微米的精度。这种SMPR系统使用了舞台内定位器和高精度激光干涉仪，允许工作表面的精确运动，同时即使对于最小的物体也保持对准精度。为了确保高精度应用的光刻成功，必须监控和评估KARL SUSS MJB-21的准确性。这是由定期使用激光干涉仪，这是内置在机器监测。干涉仪确保所有曝光都以正确的对准方式进行，从而产生最佳的生产结果。当需要更改时,KARL SUSS/MICROTEC MJB 21独特的SMPR技术允许它使用新流程的一些用户定义参数自动更新当前对齐方式。MJB-21设计用于低热漂移、高可靠性和低维护。控制算法相对简单，设备配备了多个曝光和对齐级别，允许用户为自己的应用选择最合适的。总体而言，MICROTEC MJB 21是专门为微加工工艺设计的高级掩模对齐器。KARL SUSS/MICROTEC MJB-21具有广泛的可自定义功能,例如可调节照明、对准水平和运动控制,使其能够精确、精确地执行高精度过程。这是一个健壮可靠的机器，最大程度地减少了热漂移和低维护。MICROTEC MJB-21是任何需要极高精确度和精确度的过程中必不可少的工具。