KARL SUSS/MICROTEC MA-150E是一种自动化的掩模对准设备，在许多应用中用于精密微加工，如光刻、薄膜沉积和太阳能电池生产。该系统专为高精度、高通量性能而设计。它由一个主控制单元、一个步进电机、一个真空卡盘、一个对准传感器以及一系列可以通过一系列阶段移动基板的铰接臂组成。MICROTEC MA 150E中的主控制单元是具有直观用户界面的微处理器控制单元。它可以方便地编程和操作机器。工具的所有组件都可以从界面进行控制，从而可以精确控制基板的对准和曝光。步进电动机是一种低能电动机，允许铰接臂的精确定位和运动。真空卡盘负责在暴露过程中将基板牢固地固定在适当的位置。然后，对准传感器测量基板的倾斜度并进行任何必要的校正。资产提供手动和自动对齐选项。对于手动对齐,在卡盘和支架上都有对齐标记,从而可以方便地看到参考点。这样可以精确定位和对齐材料。自动对准选项使用"光学自动定心"技术来识别标记并自动进行校正。这简化了流程，减少了用户互动。KARL SUSS MA 150 E由于提高了精度和改进了用户界面，能够比大多数普通掩码对准器更快的操作。它可以达到25nm的分辨率,根据所需的质量,曝光时间为8到250秒。它易于使用,并且需要最少的维护,因此是大型掩模对齐项目的理想选择。其可靠性和准确性使其成为业界领先的模型。