MICROTEC/MicTec KARL SUSS/MICROTEC MA-150 REMAN是为光刻工艺中的效率和高精度而设计的最先进的掩模对齐器。MICROTEC MA-150 REMAN具有广泛的功能,使其非常适合微电子行业的光刻应用,从基本的对齐任务到复杂的迭加设置。KARL SUSS MA-150 REMAN构建在紧凑、高品质的金属框架上,使其既坚固又轻巧。它有一个完全封闭的光路，以增加安全性和精度。这使得基材和口罩的对齐能够在广阔的视野中进行，速度是行业中最快的。REMAN MA-150精度被称为其"对准精度"，并被Suss/MicTec吹捧为在12 x 12 mm区域内产生0.1um的对准精度。KARL SUSS/MICROTEC MA-150 REMAN也有一系列的特点，以方便精确和安全的操作。例如,它具有手动安全联锁和光强度控制功能,具有广泛的曝光设置和持续时间。它还具有用于状态指示的集成电源LED和用于自动胶片检测的可选配置。此外,MICROTEC MA-150 REMAN还具有增强其整体性能的可选功能,包括灰尘和颗粒控制、边缘测量能力以及广泛的曝光掩模元件。总体而言,KARL SUSS/MicTec KARL SUSS MA-150 REMAN旨在提供光刻操作的最高精度和速度。它的质量框架和对齐精度开辟了一系列的应用，允许成本效益和更快的周转时间。它的各种安全联锁、曝光设置和可选功能使用户能够根据自己的特定要求定制其掩模对齐设置,使其非常适合微电子实验室。