KARL SUSS/MICROTEC MA-150 CC Mask Aligner是一种最先进的自动化光刻工具。它非常适合处理具有复杂几何形状的小型设备。具体来说,MICROTEC MA150CC适用于尺寸范围为1mm-150 mm的设备。自动工具校准、可重复对准精度和高清成像等功能使其成为在直径从0.75英寸到6英寸的各种晶片上生产细线光刻剂的理想选择。KARL SUSS MA 150CC由包括光源、晶圆室、步进电机以及精密光学和机械元件在内的集成平台组成。光源产生暴露光刻胶所必需的紫外线辐射。它包括用于高功率输出的集成汞弧灯以及用于目视检查的白炽灯。晶圆室是一个精密的石英室，具有100毫米的闸门和朗缪尔-布洛杰特薄膜沉积，允许晶圆的均匀涂层。此外，该室设有通风口，用于控制大气层。步进电机的设计是为了提供精确的微观定位精度，从而最大限度地减少临界尺寸不对准。步进器的旋转点精度为1毫米，这对于光刻胶的曝光至关重要。此外，这一先进设备还包括用于掩模和基板精确对准的集成对准软件。该系统还包括一个对准监测单元，以便在曝光期间保持精度。此外，MICROTEC MA-150CC提供分辨率小于0.25微米的高清成像。这在最关键的设备级别上提供了卓越的成像和模式定义。KARL SUSS MA-150CC还具有先进的机器人自动化能力，使其能够筛选、对准晶片，并将晶片送入和送出曝光室。此外,该机器允许快速转换,提供一致的质量和性能级别。总体而言,MICROTEC MA-150 CC Mask Aligner是一款先进的光刻工具,可提供卓越的性能。它非常适合在各种基板上生产高清和细线光刻胶，其集成自动化机器提供一致的质量和性能水平。该机可处理直径从0.75英寸到6英寸的晶片，提供极好的精度和精度，分辨率低至0.25微米。所有这些特性使KARL SUSS MA150CC生产复杂几何形状复杂的设备的理想选择。