KARL SUSS/MICROTEC MA-150是一种最先进的掩模对齐器,旨在为微加工、光刻和掩模注册应用提供经济高效的解决方桉。它能够对光掩模进行超精确对准，以便将图样转移到基板上。MICROTEC MA150是精密光学系统、微电子、生命科学和消费品等一系列行业的理想选择,它为各种工艺和材料提供灵活、掩模级的精度。KARL SUSS MA 150是一个功能强大的系统,能够执行各种任务。它配备了一个500万像素的摄像头，能够捕捉分辨率为1 μ米的图像。它还装有两个精密级，最小步长为5 μ米，使用户可以在基板上实现口罩和口罩的精确对准。此外，MA150配有各种成像系统，可通过比较器和相机辅助模式，以及4通道视频投影仪和4后边缘探测器等对准附件，协助对准过程。MA-150还可与各种环境单位结合使用，以进一步提高其性能。例如，真空装置能够为口罩和基板在一个过程中保持对齐提供一个干净和稳定的环境。此外，一个NC4水力装置能够控制工艺室的水分和氧含量，可以连接到KARL SUSS MA150，以帮助减少污染的发生率。KARL SUSS/MICROTEC MA150紧凑、精确、易于使用。该系统采用图形用户界面设计,用户可以轻松地对各种设置进行编程,包括基板尺寸、曝光时间和通过次数。系统还附带了针对特定进程预设的工作设置内置库。总之，MA 150是一种强大的掩模对齐器，可以提供超精确的光掩模对齐，用于将图样转移到基板上。它的高分辨率相机、精确的舞台和各种成像系统使其非常适合在一系列行业中使用。此外，其内置的预设工作设置和环境单位库进一步提高了其性能。