KARL SUSS/MICROTEC MA 14是一种先进的半自动掩模对齐器，用于半导体制造工艺。它用于光掩模和基板的精确对准，使其成为设备制造中至关重要的设备。MICROTEC MA 14是一个紧凑的设计，具有350毫米x 350毫米的对准区域和显微镜阶段，拥有1000万像素的CCD摄像机和微米级，在高达500 nm的分辨率下提供精确精确的对准。这使得它对于基板上极小特征的蚀刻非常有效，消除了制造缺陷，缩短了循环时间。KARL SUSS MA 14是可编程的，提供了四种自动对齐模式，包括对齐点、对齐窗口、多点对齐、次像素对齐，因此用户可以根据自己的特定需求调整设置，快速准确地达到他们期望的效果。MA 14具有光束笔特征，允许在不使用显微镜的情况下手动操作对齐标记。KARL SUSS/MICROTEC MA 14还具有全自动曝光系统，允许更快的周转时间和更少的操作员干预。MICROTEC MA 14还提供了一系列安全功能和诊断功能，以保护操作员免受操作员错误和编程错误的影响。这包括刀具检查和机器安全功能,例如超出公差、未对准警告系统和联锁。KARL SUSS MA 14还具有集成的过程监控能力，用于评估过程性能和减少可能导致制造过程出现错误或弱点的过程变化。总体而言,MA 14是半导体和电子设备制造行业中非常宝贵的工具,可提供极高的精确度、快速的循环时间和增强的安全特性,非常适合生产复杂的零件和设备。