KARL SUSS/MICROTEC 1169901是一种半自动掩模对齐器，可用于微电子和纳米技术部件制造中的光刻工艺。该设备具有强大的掩模操作和高分辨率成像功能。对准系统使用光学显微镜和膨胀镜测量遮罩与基板之间的精确距离，然后以精确的X-Y-Z坐标移动遮罩，将所需的图桉对准基板。机组工作面积为122 x 122毫米，分辨率为5 µm，精度为1.5 µm。MICROTEC 1169901包含一个计算机控制的XYZ表和一个电动掩模台。KARL SUSS 1169901面膜对准器可用于暴露广泛的材料，包括有机或阳极氧化铝、硅、玻璃、石英和熔融石英。该机器还能够在80 mW/cm2和1：1000之间的强度比下运行。此外，该工具还提供数字数据记录和用户友好的触摸屏界面。它还具有与外部光学器件集成的实时成像和控制集成功能,并能够对详细的比对处理序列进行编程以获得最大的吞吐量。此外，即使没有外部光学校准，自主透镜也能确保精确对准。1169901掩模对齐器设计用于多种领域,包括微加工、晶圆级封装和堆迭模具封装。对于需要能够提供高精度对齐结果的可靠掩模对齐器的研究人员、工程师和制造商来说,它是一种经济高效的工具。