佳能CANON FPA-6000ES6A是一款基于KrF（248nm）准分子激光的步进扫描光刻机，专为成熟制程设计，支持300mm/200mm晶圆量产。其核心功能包括：采用0.86数值孔径（NA）投影镜头，实现90nm分辨率，配合高精度对准系统（MVS）实现≤8nm套刻精度，适用于DRAM、闪存、微处理器及图像传感器等领域的稳定生产。设备通过优化工作台驱动和传输系统，实现100-170片/小时的高吞吐量，并支持SECS/GEM自动化接口以提升产线集成效率。该机型凭借成熟的KrF平台技术，在功率器件、MEMS及汽车电子等对成本敏感的场景中展现高性价比优势。需注意，该型号并非193nm ArF浸没式光刻机，其技术参数与应用场景更偏向于28nm以上的成熟工艺。