佳能CANON FPA-5500iza是一款专为成熟制程设计的i线（365nm）步进式光刻机，基于高稳定性光学平台构建，支持200mm/300mm晶圆量产。其核心功能包括：采用0.45-0.57可变数值孔径（NA）投影镜头，实现≤0.35μm分辨率，配合高精度对准系统（M+3σ套刻精度≤16nm），满足功率器件、MEMS及汽车电子等对成本敏感领域的需求。设备通过4.5kW高压汞灯光源与优化的晶圆传输系统，实现155片/小时（200mm）或93片/小时（300mm）的高吞吐量，并支持SECS/GEM自动化接口以提升产线集成效率。其大视场（26mm×33mm）设计兼顾精度与效率，尤其适用于130nm及以上节点的厚光刻胶工艺，如CMOS图像传感器像素单元制造。该机型凭借成熟的i线平台技术，在消费电子、工业控制等领域展现高性价比优势。