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佳能CANON BM3-6273-000.ULEX06SA光刻机是一款专为先进半导体封装和显示面板制造设计的精密设备。它采用高精度投影光学系统,支持大尺寸晶圆或玻璃基板的曝光,适用于功率半导体、车载显示器等场景。该设备通过优化照明均匀性和套刻精度,可实现微米级分辨率的电路图案转移,同时兼容多种工艺需求,提升生产效率和良率。其模块化设计便于集成到现有产线,助力高密度封装和高精细化显示技术的量产。
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