CANON PLA 501 F是一款用于生产用于IC制造的相片口罩的口罩对齐器。具有柔性对准自动机构和高分辨率图像输入设备三种定位方式。所需的遮罩图桉直接绘製在标线上，并由遮罩对齐器读取，然后以三倍于标线解析度产生相同图桉的照片遮罩。该对齐器能够生产最大尺寸为600 mm、最小线宽为0.1 μ m的内层或外层照片面罩。直线导向机构和高精度步进电机系统支持对准。其最大分辨率为4 μ m,精度为0.5 μ m,对准速度为100 μ m/sec。柔性对齐自动机制提高了设备的掩码与掩码对齐精度以及掩码传输产量。设备使用内部对齐栅格,该栅格可进行调整以匹配抵抗图像。该栅格用于将掩模精确定位到晶片上，精度为40 μ m。高分辨率图像输入机用于读取照片面罩的蒙面层，允许最大图像读取30 µm。该工具支持手动输入和输出,以及通过通信接口实现自动化。通信接口支持交换工作数据和掩码图稿的DSTEP/APPL格式。该设备能够支持200 mm和300 mm晶圆平台,高度灵活,易于配置、校准和维护。界面软件使用方便，提供完整的作业管理。该设备能够支持广泛的生产过程，包括前端和后端，使其适合IC制造、光掩模生产或半导体器件维修等各种应用。