CANON MPA 600 Super是一种用于精确阵列和对齐的掩模对齐器。它是一个完全自动化的下一代平台,旨在生产具有卓越边缘敏锐度的高精度设备。CANON MPA600SUPER采用了一种新的全场无镜头成像工艺，即使具有厚图桉和复杂几何形状，也能实现高分辨率成像。这与新的先进模式识别技术相结合，产生了极精确的对准能力，可重复的精度为1.5 µm。MPA-600SUPER还配备了先进的非接触式基板处理设备，可消除基板损坏，从而提高产量。多轴设计提供了更好的吞吐量和灵活性,使复杂的阵列和几何易于接合和精确阵列。系统工具堆栈允许各种定制选项,以适应各种应用程序。MPA-600 SUPER的最大基板尺寸为600mmx500 mm，可以配置多种遮罩格式，从251mm到610mm不等。该装置具有可变压力载荷能力和集成的自动聚焦功能。这样可以确保基板载入正确的压力,并且光学元件在整个过程中保持一致。该机还具有一个集成的掩模级,用于精确的掩模对准。这使得它非常适合创建大型或复杂的模式。MPA600SUPER配备了一整套软件来支持模式和对齐。它具有高级PC接口以及自动和手动阵列功能。用户友好的软件允许快速、方便地操作工具。此外,CANON还提供了多种其他工具来定制资产,以适应每个客户的特定需求。总体而言,CANON MPA-600 SUPER是一款功能强大的掩码对齐器,由于其高分辨率成像功能、先进的非接触式基板处理模型和刀具堆栈,以及用户友好的软件,可根据任何精确的阵列和对齐应用程序的需要进行定制。