CANON MPA 600 FA是一款高精度、自动化的电光光刻掩模对准器，专为高端光掩模制造而设计。CANON MPA600FA擅长实现精确的掩模图样和精确的对准，使其成为最苛刻的光掩模制造应用的绝佳选择。MPA-600FA是为满足光掩模制造行业的先进需求而设计的。具有8轴级、高分辨率成像、真空系统、高精度自动对焦等内置特性。这些特性使MPA-600 FA成为进行精确、可复制的光掩模制造的理想选择。CANON MPA600-FA还具有高性能的激光对准系统和各种对准视图端口，用于光学验证。此外,MPA 600FA提供了从0.5到500 μJ/cm2的各种暴露剂量和暴露量,使其能够执行各种光掩模制造任务。CANON MPA 600FA与环氧、石英、玻璃、金属等多种基材兼容，适合各种不同的制造任务。此外，MPA600-FA具有经过验证的真空系统设计，使其能够实现各种不同基板的精确对准。当与CANON专有软件套件配对时,MPA600FA能够实现卓越的一致性和准确性,使其成为要求苛刻的光掩模制造应用程序的绝佳选择。使用此软件套件,用户可以生成详细的光掩码制造布局,可视化扫描结果,并轻松将制造结果导出到其他CAD/CAM系统。MPA 600 FA的高精度自动化功能使其成为要求苛刻的光掩模制造应用程序的理想选择。这使得它适合微电子、机电一体化、生物医药等行业。