佳能EX4是一种先进的晶圆步进器，以其高精度和制造能力而闻名。它旨在用于一系列应用，包括半导体组件的生产，以及对分子水平上的化学和物理过程的研究。EX4的核心是提供卓越精度和可重复性的双轴电动平台。该平台能够以每秒1,000步以上的速度沿着两个轴移动小型、精确定位的对象。这使得步进器能够以最小的变化沿着预定义的路径精确移动对象。步进器还具有自校准编码器和自补偿桥，通过优化双轴电动平台性能进一步提高了精度。佳能EX4利用广泛的技术来确保精确度和可重复性。这包括利用一个将精密物镜与多种图样制作方法相结合的光学系统，以确保元件的精确制造。此外,步进器还具有先进的成像系统,该系统使用激光器获取高分辨率图像,然后对这些特征进行精确的几何测量。EX4还提供一系列可持续性好处，如低功耗和最小电磁辐射。这确保了它适合在高流量区域使用，并确保了比其前辈更节能的操作。佳能EX4具有很高的可靠性和鲁棒性，部分原因在于其先进的对准定位技术有助于保持极好的精度，即使在系统受到湍流冲击时也是如此。步进器还具有简单易用的图形界面,允许用户快速选择适当的功能并监控其进度,以及一系列安全功能,有助于降低发生事故和失误的风险。总之，EX4是一种高度先进的晶圆步进器，设计用于各种应用。它具有双轴、机动化平台以实现最大精度、一系列电子和光学技术以确保精度和可重复性、低功耗和最小电磁辐射,以及一系列安全功能以保护用户免受潜在事故的影响。