BSL/BETA SQUARED LITHOGRAPHY Micralign 552HT是一种具有高精度和重复性的掩模对齐器。它使用光刻技术来创建印刷电路板和其他具有复杂图桉和设计几何形状的产品。机器有一个内置的自动化晶片级，可以处理一系列晶片尺寸。晶圆定位系统在x-y平面中自动将晶圆居中至0.45 μ m的精度,并μ 0.90 m的可重复性。光束形状选择器和快门可用于提高精度和减少对准误差。BSL Micralign 552HT使用主动图像稳定（AIS）来减少掩蔽和成像过程中可能出现的运动模煳。它还具有一个活动的雪橇机构，以确保掩模在晶圆上的精确对准。可调光掩模平台可进行精细定位和调整,以实现最佳对准。该系统包括一台数码相机，用于快速、精确的掩模对准图像处理。这样可以灵活地选择图像,并实现卓越的掩码对齐精度。软件具有自动对焦、缩放和光圈控制功能,使用户能够调整和优化焦点、分辨率和字段大小。它包括一个用于显示光掩码图桉的集成CAD/CAM程序。BETA SQUARED LITHOGRAPHY Micralign 552HT使用大量的先进技术来确保高性能和准确性。它能够生产精确和可重复的印刷电路板、组件和其他产品。