ASML XT 1250B是一种高度专业化的晶圆步进器，设计用于高性能、半导体的精确对准和其他用于亚微米技术的集成电路。这种10区步进器允许严格的精度和生产速度晶片的最大直径12英寸。它采用了专利的"平面内"扫描技术，使设备能够快速扫描和传送表面极为均匀光滑的晶片。步进器还具有先进的5轴对准系统,可在生产过程中精确定位和跟踪。ASML XT:1250B利用高分辨率扫描头,在扫描过程中提供6微米分辨率和254 nm波长的地形检测。高分辨率的光学和电机控制提供了非常平滑的定位运动，既提高了精度，也提高了生产速度。光学元件和高分辨率扫描仪的组合允许在生产过程中采用晶圆级激光检查程序。该单元由功能强大但高效的1.4 GHz Intel Pentium处理器提供动力,并在32位Windows 98操作机上运行。该工具最多可连接四台PC,使其易于扩展并能够执行非常大的生产作业。XT 1250B还提供了利用内置自动化资产实现自动化和控制生产的独特能力。自动化模型允许数据分析、配方控制以及照相机和扫描仪对齐。自动化设备可以升级以提供更大的灵活性和进一步的自动化功能。XT:1250B是一种提供高速生产和精度的顶级晶圆步进器。虽然最初的成本可能很高，但是在半导体和亚微米生产上需要高精度的公司，从长远来看可以大幅节省，这要归功于其快速的操作和自动化能力。