ASML Power box是半导体过程中使用的一种晶圆步进器。它是一种先进的工具，设计用于将半导体晶片精确定位和暴露于各种类型的辐射中。机器利用X、Y、Z电机移动舞台，调整晶圆上的照明参数。这样可以对小型设备进行高度精确的光刻,并具有高特征密度。功率箱的基本参数如下：成像面积-300毫米；图像尺寸-200至500海米；光源-紫外线、红外光源和可见光源；接触剂量范围-0.1至10 µJ/cm2；重复性-<1 µm。该机还具有先进的装卸晶片自动化能力，便于维护。为了达到最高水平的图像质量，ASML Power box利用了两个主要组件；扫描镜头组件和晶片级系统。扫描镜头组件由伺服驱动的反射镜组成,这些反射镜将光束引向晶片。镜子在所有3个轴上移动，以设置光刻工艺的焦点、空间分辨率和曝光参数。晶圆级系统由固定台和可移动级组成，在X、Y、Z方向移动，将光束引向晶圆上的各个位置。各类辐射可搭配Power box使用，包括电子束、极紫外线、电离辐射、红外线。该机还配备了几个安全功能，如自动关闭和激光报警器。ASML Power box是一种非常先进的工具,可精确控制光刻工艺。Power box具有多种照明光源和高品质的图像,非常适合制造高特征密度的小型设备。