ASML PAS 2500/45是一个步骤和重复晶圆步进器，旨在提供高精度的对准和定位。它能够在晶片上步进和重复一个设计模式，具有高度的准确性和可重复性。PAS 2500/45专为300 mm晶片设计，利用800 mm对准器提供高精度对准和先进的对准技术，达到1 nm的对准精度。它还配备了先进的步进模式匹配能力，用于快速模式识别和精确定位。其45nm分辨率允许高精度成像,具有高覆盖性能和改进的工艺产量。ASML PAS 2500/45使用高级图像分析和图像处理工具来检测晶圆特征中的小几何形状。它还具有用于实时故障的快速光学检测设备和用于过程优化的高端图像库。此外，PAS 2500/45配备了先进的热管理系统，以减少热漂移，使机器的性能更加可靠。此单元还允许在± 2°C内调节步进器的温度控制,确保保持最佳操作条件。ASML PAS 2500/45进一步配备了开放式体系结构计算机器和一套功能强大的软件工具，旨在简化操作并最大化生产力。这种独特的体系结构允许机器同时用于高级研究和生产应用。PAS 2500/45对于那些希望将高精度对准和位置纳入其晶圆处理需求的人来说是一个极好的选择。它旨在提供高精度的精度和先进的对准技术，同时仍然保持成本效益。