LAM RESEARCH Exelan是一款旨在提供卓越性价比的蚀刻器/asher。此设备提供独特的创新解决方桉,使客户能够通过提供灵活性、控制和可靠性来适应不断变化的市场需求。Exelan是一种先进的蚀刻系统，能够蚀刻和灰化广泛的材料，包括半导体、光掩模、电阻器、胶囊系统、封装和晶圆。该单元是准确的，能够在精密水平蚀刻。LAM RESEARCH Exelan具有许多使蚀刻和遮挡微风的功能。这台机器采用强大的控制器,并提供集成的设计,允许用户控制其设置和参数,并根据需要对蚀刻时间、温度和其他设置进行控制。用户界面直观且用户友好，它结合了监控功能，以确保所有进程都能准确、安全地执行。该工具提供自动化的高通量清洗和蚀刻以及自动晶片加载功能。它还与各种沉积源配合使用,并提供各种可编程设置（包括模式识别）,以帮助确保过程的可重复性。Exelan还具有一系列先进的安全特性，如惰性大气和排气资产，以确保车型安全运行。LAM RESEARCH Exelan也是一款节能设备。它能够以最低的气体消耗进行干蚀刻，其部件具有可靠的功率，可以延长寿命并降低维护成本。该系统还具有直观的软件界面，允许对蚀刻工艺流程路径进行更大的控制，并提供晶圆的详细可追踪性。Exelan目前和未来的应用包括细线图桉和屏障蚀刻、沟槽和开口，以及晶圆级包装应用和MEMS制造。它结合了先进的功能、可靠的功耗和用户友好性,使此设备成为寻求高效、可靠和经济高效的蚀刻和灰化的企业的理想选择。