AMAT/APPPLIED MATERIALS AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT+是一种高性能的等离子体蚀刻器/asher设备，设计用于处理各种应用。该系统提供了多个流程模块来满足每个应用程序的需求。AMAT EMAX_CT+使用获得专利的高密度直流（直流电）等离子体源，以确保低蚀刻速率和一致的工艺结果。该单元还具有多级射频偏置电源，以提高选择性和过程控制。APPLIED MATERIALS E-MAX CT+还具有双腔室工艺腔室，以提供更快的吞吐量和提高工艺产量。eMax CT+的高密度直流等离子体源可以产生10-400瓦的等离子体源，而RF偏置电源的最大输出功率高达25千瓦。源也可以配置为满足各种需求，包括Bas、BrF2、F2等多种气体溷合物。AMAT/APPLIED MATERIALS EMAX_CT+的工艺室配有一个可变面积金属穿孔气体喷头，以确保精确的气体分布，并配有一个自动比例阀，用于精确控制气体流量。AMAT eMax CT+采用先进的过程控制技术，具有脉冲控制、脉冲高度分析和先进的控制算法。这些特性可以精确控制蚀刻工艺参数，如偏置功率、压力、直流和射频功率以及EMAX_CT+工艺室压力。该机还可用于晶圆均匀度测量，因为它配备了绝对标准压力室用于校准目的。APPLIED MATERIALS eMax CT+具有高级用户界面,它提供了一组全面而直观的集成控件,以确保最大程度的工具性能。此外,嵌入式Web服务器允许通过网络连接轻松访问和控制E-MAX CT+。资产还具有自动自我诊断功能,可帮助减少出错时的停机时间。总体而言，AMAT/APPLIED MATERIALS E-MAX CT+是一种可靠的等离子体蚀刻器/aser模型，旨在提供精确的控制和高通量。设备包括高密度直流和射频电源、双室工艺室和先进的用户界面。AMAT E-MAX CT+具有先进的控制算法和全面的控件集,是一种理想且经济高效的蚀刻和灰化应用解决方桉。