东电电子 TEL TSP-305555DDDD 干法刻蚀机，利用等离子体技术，通过射频电源使反应气体电离。它能精准去除晶圆表面特定材料，对氧化硅、金属、多晶硅等蚀刻选择性高，可实现各向异性刻蚀，精准塑造深孔、窄槽等高精度图形，广泛用于半导体制造等领域 。