SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV 10SD-160是一种高性能的离子植入器和监控设备。它旨在实现半导体晶片的精确离子注入。SEN NV 10SD-160利用电子枪产生高能束，然后用于植入带有高能离子粒子的半导体晶片。该枪的能量可以变化到160 KeV，并且能够产生广泛的剂量。NV 10SD-160配备了先进的计算机控制过程监控和数据采集系统。这种高性能的监测装置能够对植入的材料进行精确的离子植入和数据采集。此外，该机还能自动调整参数，以实现不同晶片的最佳植入。SUMITOMO EATON NOVA NV10SD-160配备了高真空室，这对于离子的高效植入至关重要。这样可以优化工具并最大程度地减少植入周期中的污染。SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV10SD-160还具有一系列先进的安全资产，以确保在进行离子植入时的最佳安全。它具有超过电压限制和接地故障隔离系统的特点，以确保在进行高灵敏度植入时的最大安全性。总之，SEN NV10SD-160是一种高性能、安全的离子植入模型。先进的监测和数据采集设备，结合高真空室，实现了半导体晶片的精密植入。审计和安全系统的范围确保了植入时的最终安全。