EatonEaton NOVA/AXCELIS NV 8250是为光伏、光电、显示器、复合半导体等高压应用而设计的离子植入器和显示器。AXCELIS NV 8250是一款高品位、高精度的植入和监控设备，提供优越的离子源控制和过程监控能力。该系统的主要特点包括强大、集成的500kW离子源、固定电子束离子源、高电流离子源、低电流离子源、革命性的阴极电弧离子源以及广泛的i/o和控制能力。EATON NOVA NV 8250将植入和监测中的可预测性、重复性和可靠性与高效离子源结合在一起。该装置具有较大的光束电流和广泛的光束能量，可以满足各种植入和监测需求。它支持标准和高电流植入物，以及用于精确植入的非常低电流离子。该机器利用了一个可变几何离子源，提供了对植入参数的无与伦比的控制。这包括光束电流、光束能量和动态温度控制。凭借其先进的源代码控制，该工具能够保持令人难以置信的高度一致性，这对植入过程的质量产生了重大影响。NV 8250还拥有一个全面的监控资产，对植入参数提供精确的控制。这包括全系列的i/o和控制功能,包括基于模板的控制、格式程序以及自定义流程参数的功能。该模型还采用了符合人体工程学的控制台，具有直观的图形界面，使其操作极为容易。EATON NOVA/AXCELIS NV 8250的集成诊断和安全特性提供了最大的安全保证和工艺可靠性。这包括自动检测异常射击以及防止设备故障的安全联锁。该系统还配备了各种数据收集功能，以支持可追踪性和质量保证。最后,AXCELIS NV 8250得到了客户服务和支持卓越承诺的支持,并有专门的技术团队可根据需要进行咨询和故障排除。