VARIAN 350XP是一种离子植入器和显示器，设计用于半导体加工应用。该系统由预辐射室和真空密封植入器头以及用于控制和数据采集的数字信号处理器组成。预辐射室模块装有主离子源、整体质量分离器和内部安装的计算机，用于生成和监测所需的光束特性。机器的这一部分与植入器室分离，允许快速植入，而不必先后重新建立参数。植入器模块由单轴龙门、真空密闸阀、集成质谱仪的腔室组成。该设计允许可变停留时间以及沿龙门的可变位置。植入器源具有低温操作范围，可用于植入各类离子，包括钚、铝等重离子。内部屏蔽最大限度地减少了反向散射，减少了样品污染的数量。综合监测和控制系统利用数字信号处理器（DSP）促进准确植入并确保所需参数得到维护。这允许自动调整梁的形状和质量，并监控诸如腔室压力等工艺条件。350XP设计能够快速、可靠和准确地跟踪样品位置,而不会影响准确性或质量。它可以用来植入所有能量的离子，从十分之一的keV到几个巨型电子伏特，并且适合在广泛的材料上使用，包括半导体晶圆和纳米线。该系统非常直观、用户友好，是半导体加工行业人士的绝佳选择。