瓦利安VARIAN D1500 Rev B离子注入机，能精准调控半导体材料电学属性。其借Varian控制系统生成工艺配方，操控离子源电离硼、磷等掺杂元素，经90度磁分析器筛选特定离子，由加速管赋予离子高能量，再经扫描系统均匀扫射，将离子注入晶圆，助力制造高性能芯片。