泛林LAM RESEARCH ICS-S离子注入机，是半导体制造关键设备。它将硼（B）、磷（P）等特定杂质原子电离成离子，经磁分析器筛选，由加速管赋予离子高能量，通过扫描系统均匀扫射，精准注入半导体晶圆。借此改变材料电学性能，助力制造晶体管等芯片关键元件。