SINGULUS Silex SDE800湿站是一种坚固可靠的生产就绪机器，旨在满足医疗器械制造商和薄膜沉积领域研究人员的需求。拥有包含集成工艺室的模块化平台，其主要特点包括对温度、压力、速度和蚀刻的高精度控制，以及与8英寸和10英寸等标准晶圆尺寸的兼容性。SDE800湿站还采用了先进的安全和监测技术，拥有150多个单独的工艺参数，以确保可靠和可重复运行。SDE800湿站的设计是为了满足医疗器械制造商的需要，使用精细的基材和材料进行各种程序。这包括用于蚀刻、薄膜涂层和封装工艺的应用，以及真空、大气和腐蚀性气体加工的需求。SDE800湿站除了支持低温处理能力外，还支持等离子体、等离子注入、溅射、离子束沉积等多种先进工艺。此外，该机器还配备了一系列自动控制系统，具有用户友好的图形界面。SDE800湿站由一个基本模型组成，该模型具有一系列模块，以满足任何单独研究或行业应用的需要。机器的中心是通用加工室，一种球形室，可实现低至55°C的温度和高达10-7 torr的压力，并可升级到直径8"或10"的基板尺寸。每个腔室还设有集成的温度和压力表以及带自动压力剖面的整体真空水平测量系统。此外，腔室还支持一系列加工气体，例如氢气和氙气，如果需要，可以选择气体溷合物。为确保可靠和可重复运行，SDE800湿站采用了先进的安全和监控系统，拥有150多个工艺参数。这包括电子故障检测系统和在过程临界情况下的紧急自动关机系统。该机还包括一个集成的控制系统，具有图形用户界面，便于监控和校准。最后，Silex SDE800湿站是一种先进的机器，旨在满足医疗器械制造商和研究人员对薄膜沉积工艺的需求。SDE800湿式站具有模块化设计、高精度控制功能和先进的安全系统,是满足各种精细基板和材料需求的理想解决方桉。