DNS/DAINIPPON FS-820L湿站是一种最先进的湿处理解决方桉,它结合了强大的FPD控制器、精密步进电机和工业级工作面。该湿式站的设计能够提供可靠的性能和较长的使用寿命,而且维护最少。DNS FS-820L具有多种特性和功能，包括用于控制和监测过程参数的可编程逻辑控制器（PLC）、具有半永久性液体供应的内置液体供应模块，以及用于持续监测所有化学水平和储层水平的全自动液位控制设备。湿式工作站还具有液晶屏接口,该接口显示过程参数和有用的信息,以便于监控,以及强大的安全系统,可自动关闭设备以防止发生危险情况。DAINIPPON FS-820L具有内置的3轴结构、自动旋转台和单独的陶瓷加热器，以提供精确的温度和均匀的基板加热。湿站还配备了排水托盘机和废物容器，便于处置废旧化学品。该工具的工作区域采用高强度LED灯照明，与空气运动完全隔离，确保最佳观看和工作效率。FS-820L还具有强大的无刷电动机和可变速度,以及具有真空资产的工作台,以确保高精度铣削。湿站有一个集成的流程数据存储模型，允许用户存储和分析他们的数据，以便将来进行审查和操作。该设备与各种FPD软件兼容，如行业标准的CONTRAXCENTER™和FPDnet™系统。总体而言,DNS/DAINIPPON FS-820L湿站是一个可靠且用途广泛的系统,可满足各种湿处理应用的需求。其特性和功能使其非常适合各种工艺,包括CMP、RIE、蚀刻和清洁。对于那些寻找可靠、高性能湿式站的人来说，本产品是一个极好的选择。