DNS/DAINIPPON SU-3200湿站是DNS开发的一种高度先进的湿处理设备，提供更高的精密处理性能。是用于蚀刻、清洁、涂层、干燥等各种湿加工作业的湿站。DNS SU-3200具有广泛的高度先进的湿处理模块,可提供高级处理功能,包括半导体级蚀刻罐、双室CPT涂层设备、先进的清洁和干燥组件以及光刻胶显影/带状系统。它符合国际电工委员会（IEC）的要求，在生产产出方面实现了更好的准确性和可重复性。DAINIPPON SU 3200是一个高度自动化的湿式站,可自动执行许多湿式处理条件,以确保质量一致。例如，蚀刻单元包括各种智能参数，允许根据每个项目的要求设置不同的蚀刻解决方桉。此外,该设备还包含一台刀具监视器,可连续监控和显示线路/负载变化和湿度等数据。DNS SU 3200配备净水再循环工具，可控制蚀刻温度，确保无污染溶液。它还具有安全互锁和警报器的安全设计，提供防止化学孔隙和飞溅的保护。而且，它允许独立的湿加工和干燥条件，以便更有效的加工。SU 3200体积小巧,在安装和操作方面具有灵活性,并具有易于操作的用户界面,能够无缝操作湿流程。其他功能包括可追踪性资产、可定制的输出数据格式和远程诊断。SU-3200湿式站是半导体湿式处理应用的理想解决方桉，其精度、准确性、安全性和可重复性是必不可少的。它提供了一系列全面的功能和高水平的自动化,使用户能够以高度可靠和可重复的结果快速高效地满足其生产需求。