SEMITOOL SATCB 1280 HF VAPOR Box Washer是一种先进的晶圆清洁设备，用于关键的半导体和太阳能电池清洁应用。这一高性能系统专为小批量（12英寸）清洁而设计，能够使用各种液体和蒸气相清洁化学物质取得优异的清洁效果。SATCB 1280配备了12 "x 12" x 24"数据控制的热阻加热器，封装在不锈钢腔室中。这种特殊的洗衣机模型用于一次涉及单个晶片、一个或多个批次或几个晶片的湿法和干法化学过程。清洁装置采用带水套的喷雾棒，在高压下将清洁化学物质传递到晶片上。该过程分布均匀，可根据特定清洁应用程序的要求进行调整。SEMITOOL SATCB 1280还设有一个旋转刷子，在冲洗循环中搅拌晶圆表面，进一步提高了清洗效果。然后利用暖风吹风机将加热的晶片干燥。加热空气的温度和流量是可调的，允许用户根据自己的特定清洁要求定制工艺。集成数据控制机为用户提供了清洁周期细节的全面显示，如时间、温度和液体输送，以确保每个周期更加一致和准确。此外,该工具还包括一系列安全警报和关闭功能,这些功能指示任何超出周期范围的故障情况或参数。半自动加载模块也进行温度控制，以保持与整个过程一致的温度。总体而言,SATCB 1280 HF VAPOR Box Washer提供卓越的清洁性能,并始终取得优异的效果。其集成的数据控制资产和安全警报确保操作员收到清洁周期中任何细微变化的警报，允许用户进行调整并放心地微调流程。此外，该模型还设计用于各种液体、蒸气和干燥化学工艺，使其成为半导体和太阳能电池清洁应用的理想选择。