卡尔·休斯KARL SUSS MICROTEC SD12半自动湿法处理系统可用于半导体晶圆等的清洗、刻蚀等工艺。它通过电机驱动的分液臂精确添加药液，能进行背面冲洗和氮气干燥，可实现晶圆表面污染物去除与表面处理等功能。